微型測力傳感器精度如何保證

現(xiàn)在有很多傳感器都是向著微型化發(fā)展，微型傳感器更方便我們的安裝，不過我們在研制微型傳感器的時(shí)候怎樣確保它的精度是一個(gè)很大的難題，用測力傳感器為例，許多地方都需要微型測力傳感器，不過同時(shí)也需要高精度的測力傳感器，生產(chǎn)出高精度微型測力傳感器顯得很重要。

微型測力傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，而且內(nèi)置前置放大器，通過放大器放大微弱信號并且實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類傳感器已經(jīng)廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號的檢測。不過與此同時(shí)，對于微壓傳感器精準(zhǔn)度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

對于微型測力傳感器來說，靈敏度與線性度是微型測力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，一定要探索出一種微型測力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式測力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)與路徑積分的仿真方法。通過這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對測力傳感器的靈敏度與線性度進(jìn)行了有效仿真。